產(chǎn)品描述

電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。

興魯空分憑借多年積累的各種氣體提純技術(shù)和工藝，先后設(shè)計(jì)制造了電子氣體設(shè)備，包括超高純電子氮?dú)?，高純氦，高純甲烷等系列設(shè)備。可根據(jù)用戶使用的要求定制電子氣體設(shè)備。