興魯空分憑借多年積累的各種氣體提純技術(shù)和工藝,先后設(shè)計(jì)制造了電子氣體設(shè)備,包括超高純電子氮?dú)?,高純氦,高純甲烷等系列設(shè)備??筛鶕?jù)用戶使用的要求定制電子氣體設(shè)備。